به هر شعاع در اصطلاح علمی Beam گفته می شود و هر Beam یک سطح مقطعی دارد که می تواند در شکل و اندازه های مختلف باشد . اندازه سطح مقطح در نسل قدیم لیزرهای اگزایمر بزرگ و در حدود ۶ تا ۷ میلمتر بود ولی لیزر های جدید سطح مقطع کوچک و حدود یک میلمتر و گاهی کمتر دارند
